光谱共焦传感器 CCS广泛应用于物体位移、振动、形变、透明体厚度等各种高精度非接触式测量。
光谱共焦传感器 CCS系列原理
光谱共焦法是利用波长信息测量距离的。由光源射出一束宽光谱(LED)的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。
通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。光谱共焦法的色散共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲,也可以进行高精度的测量,测量点不会改变。
光谱共焦法
是利用波长信息测量距离的。由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。光谱共焦法的光谱共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲,也可以进行高精度的测量,光谱共焦传感器的测量点不会改变。
光谱共焦传感器原理
光谱共焦法是利用波长信息测量距离的。由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。
通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。光谱共焦法的同轴共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲,也可以进行高精度的测量,测量点不会改变。
光谱共焦传感器CCS具有**强测量能力,可稳定测量任何材质。
传统三角测距法对于反光较强的表面测量精度较差,光谱共焦传感器无论什么表面都可以在1μm精度内稳定测量。即使同时存在多种材质,使用同一安装方式也可以稳定测量。不用针对每一种材质进行重新安装或者调节,对于多种材质存在的被测物,也可用一个传感器,一种安装方式测量。
ERT的白光光谱共焦的检测技术让我们进入纳米级的测量领域
光谱共焦产品的*特性能
1. 产品原理:全新的光谱共焦原理,可测量距离和厚度;
2. 任何材质和表面:包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量;
3. **高精度测量:较小线性度可达0.03μm,较高分辨率为0.3 nm;
4. 光谱共焦传感器从100μm-42 mm的可选量程;
5. 光谱共焦传感器**高采样频率:2K-60KHz,用于生产线,替代人工并提高合格率;
6. 光谱共焦传感器测量范围较广,几乎无死角,解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差等问题,较大可测倾角87度;
7. 光谱共焦传感器可进行透明工件(LCD、LCM、手机摄像头等)多层厚度的精确测量,较小可测量厚度为400 nm;
8. 光谱共焦传感器可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量,到工业在线检测、自动化控制等。
激光三角反射式位移传感器只有在聚焦点光斑较小,离开聚焦点后光斑都会变大。对于测量微小结构的测量任务,可能会带来测量困难。
但是光谱共焦传感器只要是在量程范围内,测量有效波长的光永远都在焦点上,可以全量程保持分辨率和精度。因此光谱共焦传感器特别适合测量微小几何结构和轮廓变化。所以现在越来越多的工业自动化厂商都在使用光谱共焦传感器。