三维轮廓仪采用光路、机械、电路和软件算法的一体化和集成化技术,提高了系统稳定性和抗干扰能力;采用背测式技术,打破了被测件尺寸限制;采用重叠平均移相干涉测量技术,保证了测试精度。本作品实用性强,适用范围广,具有打破国外技术垄断,实现技术创新的特点。
三维轮廓仪移相算法的优化和软件系统的开发 本作品采用重叠平均移相干涉算法,保证了亚纳米量级的测量精度;采用自主开发的软件,完成对PZT相移系统和CCD采集系统的控制,以及检测数据的分析处理;优化软件控制系统,使每次检测时间压缩到10秒钟以内,同时完善的数据评价系统为用户评价产品面形质量提供了方便。
产品特性:
1.采用白光轴向色像差技术,可获得纳米级的分辨率
2.测量具有非破坏性,测量速度快,精确度高
3.尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面
4.不受样品反射率的影响
5.不受环境光的影响
6.测量简单,样品*特殊处理
7.Z方向max测量范围为27mm
8.测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)
三维轮廓仪背测式载物台设计和两种测量模式的开发 在应用光机电算集成化技术的基础上,本作品的载物台采用背测式结构,即载物台位于被测表面与物镜之间,物镜通过载物台通光孔检测样品表面形貌信息。同类仪器采用试件非工作面定位测量方式,这种方式存在重复性差、稳定性低的难题。本作品不仅克服了以上难题,而且打破了对被测样品横向尺寸的限制。采用正置测量模式时,完成小口径元件的检测;采用倒置模式时,完成大口径元件的检测。
轮廓仪和粗糙度仪之间有什么不同之处?首先我们要知道这两者不是同一种产品,是两个不同的个体,从名称上看,这两者的针对性会不同。那么我们先来了解轮廓仪,它是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试和检测的仪器,而粗糙度仪则又叫做表面粗糙度仪,较初是国外先研发的,后来才引进到国内。那么这两者功能是什么呢?下面就让我们来了解一下吧。
一、轮廓仪,轮廓仪的主要功能是什么呢?它主要是用来测量零件表面的轮廓形状,反应的是零件的宏观轮廓,比如说:汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圆柱表面素线的直线度等参数。
二、粗糙轮廓仪的主要功能是什么呢?主要是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量,通俗地讲,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老国标叫光洁度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。
还有种分不清哪个是哪个的情况,我们可以通过这个方法,能测粗糙度仪的,叫带粗糙度测量头(即粗糙度测量模块),仅能测量轮廓的,是不带粗糙度测量头的,但也叫轮廓仪。