色散共焦测量原理:
由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光,每一个波长对应一个到被测物体的距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的光的波长,换算获得距离值。
ERT微型测头END技术参数
**小型光谱共焦位移传感器,外观直径为4mm、6mm、8mm
非常适合用于安装空间有限的场合
可用于对小孔内径进行测量
小至6mm的外径,但其可以非常方便地集成于在线设备上
亚微米测量精度
量程与控制器型号有关,表中参数是CCS-PRIMA控制器的标准数值
较小可测半径=光学笔半径+安装距离
表格参数是透明体数据,漫反射工件较好可达到87度。倾斜的工件会减少有效的反射光。以上参数是CCS-PRIMA控制器,在频率设定为100HZ时测得的典型结果。