光谱共焦法是利用波长信息测量距离的。
由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。
测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值。光谱共焦法的光谱共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲,也可以进行高精度的测量,测量点不会改变。
ERT多通道色散共焦传感器
多路复用传感器特点: 有2路CCS PRIMA2或4路通道CCS PRIMA4光谱共焦传感器供选择; 较高采样频率可达2000HZ;
多路复用通道:同时可以把所有传感器连接到控制器上,但一次只能有一个在使用,通道切换时间<400ms;
双通道传感器
1、表中给出的数值是典型值,LHCLO,LHCL2,LHCL3,LHCL4有±3%的偏差;LHCL1,LHCL5,LHCL6有±6%的偏差;
2、较大可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的较大可测倾角可达87;
3、在量程中间位置时的光斑尺寸,靠量程近端光斑更小,靠量程远端光斑更大,从中心分别到近端远端差异10%左右;
4、光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量,是相对单位量,此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时,选择低光度收集率的型号,为了 避免饱和,测量扩散或低反射的样品时,选择具有高光度收集率型号,以避免一个非常低的信号与噪声比例;
5、轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心,以较佳的速率进行测量,内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量,并对应交付每个传感器的校准证书;
6、精度是由1nm精度的编码器做比较校准,由所述传感器测量距离时,在整个测量范围内的较大误差。使用以下设置:自动适应LED模式,较优的速度,倾角为0。,内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量,并*每个传感器的校准证书交付;
7、较小可测量的Ra的精度取决于样品的恃性,表中所给的值是典型的;
8、在较佳的速度下,测量范围的中心,测量的典型值,不加平均。折射率=1.5个样本(测量空气间隙应除以1 5的厚度时);
9、可测半径为测头直径加工作距离。
注:以上参数如有变化,恕不另行通知。