色散共焦位移计
?**高精度
测量精度优于1um
?**高稳定性
透明 镜面 高光金属均可测量
?**新技术
色散共焦测量原理
产品功能:实现非接触式位移,振动,形变,透明体厚度,轮廓等的测量。
应用案例:压电陶瓷驱动器位移测量,形变测量;
旋转体跳动,主轴跳动,球面镜旋转跳动;
光学透镜轮廓扫描,非球面镜轮廓测量,三维形貌扫描;
透明体厚度测量,玻璃厚度测量,水膜厚度测量等。
配合扫描平台或三坐标仪可以实现轮廓及三维形貌的测量。
ERT微型测头END技术参数
**小型光谱共焦位移传感器,外观直径为4mm、6mm、8mm
非常适合用于安装空间有限的场合
可用于对小孔内径进行测量
小至6mm的外径,但其可以非常方便地集成于在线设备上
亚微米测量精度
量程与控制器型号有关,表中参数是CCS-PRIMA控制器的标准数值
较小可测半径=光学笔半径+安装距离
表格参数是透明体数据,漫反射工件较好可达到87度。倾斜的工件会减少有效的反射光。以上参数是CCS-PRIMA控制器,在频率设定为100HZ时测得的典型结果。