光谱共焦位移传感器原理简介 1.一束白光穿过小孔S,照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光,每一个波长对应一个固定的距离值。 2. 当对象出现在测量区域的时候,一个特定波长的单色光正好照射在其表面,并且反射进光学系统。 3. 此反射光通过一个小孔S,,(只有**聚焦在被测体表面的光才可以穿过这个小孔),由波长识别系统(光谱仪)识别其波长,从而得到其所代表的精确距离值。 4.由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值.
色散共焦位移计
?**高精度
测量精度优于1um
?**高稳定性
透明 镜面 高光金属均可测量
?**新技术
色散共焦测量原理
产品功能:实现非接触式位移,振动,形变,透明体厚度,轮廓等的测量。
应用案例:压电陶瓷驱动器位移测量,形变测量;
旋转体跳动,主轴跳动,球面镜旋转跳动;
光学透镜轮廓扫描,非球面镜轮廓测量,三维形貌扫描;
透明体厚度测量,玻璃厚度测量,水膜厚度测量等。
配合扫描平台或三坐标仪可以实现轮廓及三维形貌的测量。