产品特性:
1.采用白光轴向色像差技术,可获得纳米级的分辨率
2.测量具有非破坏性,测量速度快,精确度高
3.尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面
4.不受样品反射率的影响
5.不受环境光的影响
6.测量简单,样品*特殊处理
7.Z方向max测量范围为27mm
8.测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)
三维轮廓测量仪/三维表面形貌仪采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。
技术参数:
垂直测量范围:27mm
垂直分辨率:<2nm
扫描速度:1m/s
横向分辨率:5nm
可视区域:400*600mm
三维非接触式光学轮廓仪技术参数:
垂直测量范围:27mm
垂直分辨率:<2nm
扫描速度:20mm/s
横向分辨率:0.1m
测量范围:150mm×150mm