光学3D表面轮廓仪采用了高精度扫描模块和*特的内部抗振设计,可实现较高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性,**诠释始终如一的测量品质;直观的操作界面,让您对操作流程一目了然,自动聚焦,助您一键实现测量过程;可视化的工作流程树,一键激活的图库管理功能,所见即所得的同步分析功能,更有一键分析功能,批量测量不用愁。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司光学3D表面轮廓仪不仅可用于硅晶片、光学透镜、窗口片、蓝宝石表镜、手机屏等表面粗糙度检测仪,还可对LED衬底、*红外观察窗口、**精密工件、微机电系统等进行**精密检测,在军事和民用领域都有着广泛应用。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司专注于精密计量仪器和精密检测设备的技术发展,自强不息、知难而上、勇于创新,不断向各种技术壁垒、技术垄断发起挑战,用现代化的技术手段大幅提高测量效率和精度,图中国仪器技术之强大,铸中国产业提升之利器。
应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例:导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差**精密加工.光学透镜 精密加工.发动机叶片 精密加工.金字塔型金刚石磁头 标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度 性能特色1、 高精度、高重复性1) 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;2) *特的隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,**仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得较高的测量重复性;2、 一体化操作的测量分析软件1) 测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能;2) 可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;3) 结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程;4) 几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;5) 一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能;6) 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。3、 精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、 双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统,在无外接气源的条件下也可稳定工作。