新技术,新可能
使用光谱共焦测量技术,可以得到**高分辨率。纳米级分辨率源于上述经过特殊处理得到的加长光谱范围。由于采用检测焦点的颜色,得到距离信息,光谱共焦传感器可以采用非常小的测量光斑,从而允许测量非常小的被测物体。这也意味着,即使被测表面有非常轻微的划痕,也逃不过光谱共焦传感器的眼睛。
由于光谱共焦传感器的光路非常紧凑和集中,使其非常适合测量钻孔结构。而其他测量方式,如激光三角反射式测量,对于小孔往往无能为力,因为小孔形成的阴影会遮挡反射光的光路,无法进行测量。针对这种小孔测量任务,有公司推出了微型光谱共焦传感器探头。这种探头拥有仅4mm的探头直径,可以探入小孔内部进行测量。
由于测量只使用白光,*额外附加激光安全措施。由于探头本身不含有任何电路,传感器探头还可以被用于有防爆要求的环境或者有电磁干扰要求的环境。而控制器可以被放置于安全距离以外。允许较长50m的光纤连接探头和控制器。但是,需要禁止在光路上存在遮挡物或小颗粒,这会影响测量精度,甚至使测量变得不可完成。由于采用的是光学测量方法,探头到被测物体的距离也有一定限制。
色散共焦位移计
?**高精度
测量精度优于1um
?**高稳定性
透明 镜面 高光金属均可测量
?**新技术
色散共焦测量原理
产品功能:实现非接触式位移,振动,形变,透明体厚度,轮廓等的测量。
应用案例:压电陶瓷驱动器位移测量,形变测量;
旋转体跳动,主轴跳动,球面镜旋转跳动;
光学透镜轮廓扫描,非球面镜轮廓测量,三维形貌扫描;
透明体厚度测量,玻璃厚度测量,水膜厚度测量等。
配合扫描平台或三坐标仪可以实现轮廓及三维形貌的测量。