光谱共焦传感器-光谱共焦传感器公司

**高采样频率点传感器

   全新技术，区别于传统三角测距法

     由东莞蓝海精密提供的ERT光谱共焦测量技术让我们进入纳米级的测量领域

      产品的*特性能

      1. 产品原理：全新的光谱共焦原理，可测量距离和厚度；

2. 任何材质和表面：包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量； 

      3. **高精度测量：较小线性度可达0.03μm，分辨率为0.3 nm；

      4. 从100μm-42 mm的可选量程；

      5. **高采样频率：2K-60KHz，用于生产线，替代人工并提高合格率；

 6. 测量范围较广，几乎无死角，解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差等问题，可测倾角87度； 

7. 可进行透明工件（LCD、LCM、手机摄像头等）多层厚度的准确测量，较小可测量厚度为400 nm； 

8. 可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量，到工业在线检测、自动化控制等。

光谱共焦位移传感器原理简介

1. 一束白光穿过小孔S，照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光，每一个波长对应一个固定的距离值。

2. 当对象出现在测量区域的时候，一个特定波长的单色光正好照射在其表面，并且反射进光学系统。

3. 此反射光通过一个小孔S,,（只有**聚焦在被测体表面的光才可以穿过这个小孔），由波长识别系统(光谱仪)识别其波长，从而得到其所代表的精确距离值。

4.由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值.