光谱共焦传感器是一种精度可达次微米量级的非接触式位移测量系统,对于表面漫反射或镜反射之物体乃至透明材质皆可测量其位移或厚度,基于出光与回传信号路径同轴之特性,光谱共焦传感器亦适合于 深孔/盲孔工件等量测应用
原理:
光谱共焦传感器乃利用特制彩色编码镜头使可见光产生轴向色散输出,并经由光谱解析器解析共焦回传光波信号,较后透过波长与位移转换曲线计算出工件位移测量值
特点:
? 非接触式光学共焦测量技术, 具有**高分辨率及同光轴回传讯号不会被遮挡之特性
? 光纤传输彩色编码测头设计, 其结构轻巧且内部不含电子零件而不受环境干扰影响
? 采用白光(可见光)光源系统,相较激光光源而言安全防护要求低
? *特多层材质量测演算法, 可测量透明/半透明多层材质间之厚度或间隙
谱共焦原理的优点:
全息性:理论上每一束返回光谱分析仪的光线都用它的波长携带了距离信息,部分光被遮挡影响小。
无阴影效应:光从四面八方照射到样品,激光原理一个方向被遮挡无法测量的区域,共焦更容易解决。
可以测量各种表面:镜面、弯曲或倾斜的镜面、粗糙面、透明、液滴表面等的测量都变得容易。
高分辨率:理论上波长可以无限细分,理想镜头具有无限分辨率。
温度稳定性好:镜头本身不发热,温度漂移小。对于微米以及亚微米级的测量,温度稳定是很关键的。
自动聚焦:在量程范围内,被测物的位置上下变动时都有相应的波长的光聚焦到物体表面。
横向分辨率高:测量光斑小,而且总是在焦点上,能分辨被测物上的微小轮廓变化。
模块化小型化:镜头和解码部分可以通过光纤连接,传输距离远,镜头可以做得很小。
调频抗干扰:波长是调频信号,对光强变化等调幅干扰不敏感。光纤对电磁干扰、雷电浪涌不敏感。
透明材料厚度测量:当被测物透明且有两个表面,就会有两个波长的光返回得到厚度值。
安全性高:**命的LED光源,微小功率的白光,比激光对人眼更安全,不受限于激光危害等级。
高防护:控制器高防护等级,光纤可提供不锈钢外套版本,防虫害鼠咬。
维护和服务:模块化光源,一分钟快速更换。国内技术和配套支持,保修、维护、校准方便。