北京正规色散共焦厂

色散共焦光谱传感器主要应用领域：


 色散共焦光谱传感器之 粗糙度测量
得益于纳米级精度及**好的角度特性，本同轴共焦位移传感器契合ISO25178，可用于对表面粗糙度进行高精度测量。相对于传统的接触式粗糙度仪，同轴共焦位移计以更高的速度采集粗糙度轮廓，并且对产品表面无任何损伤。


  色散共焦光谱传感器之轮廓和3D形貌测量
集成于3D扫描系统上，本同轴共焦位移传感器可以提供针对负载表面形貌的2D和3D测量数据。


 色散共焦光谱传感器 之透明体厚度测量
创新的同轴共焦原理使本传感器可以直接透过透明件工件的前后表面测量厚度，整个过程仅需要使用一个传感器从工件的一个侧面测量。相对于三角反射原理的激光位移传感器，本仪器因采用同轴光，从而可以更有效地测量弧工件的厚度。


 色散共焦光谱传感器之 液位控制测量
优异的非接触式同轴测量，我们传感器可以检测和测量液体的水平高度


色散共焦光谱传感器在线检测
高采样频率，小尺寸体积和卡放的数据接口，使本仪器非常容易集成至在线生产和检测设备中，实现线上检测。
震动测量
由于采用**高的采样频率和**高精度,同轴传感器可以对震动物件进行测量,传感器采用的非接触设计，避免测量过程中对震动物件造成干扰，同时可以对复杂区域进行详细的测量和分析。

色散共焦测量传感器的应用案例
屏幕厚度，玻璃基底上的凹坑测量
智能手机或平板电脑上那层镀过膜的、**高硬度的屏幕玻璃是通过非常精密的工艺生产出。其切割边缘需要被完全检验来判断玻璃是否能进入到下面的拼装工序中。ERT的色散共焦测量传感器能够使用不同的测头在线测量屏幕玻璃的尺寸和厚度。色散共焦传感器通过一次扫描能同时测量玻璃的翘曲度和厚度。色散共焦传感器也能测量玻璃表面那些由打磨或激光消融产生的凹坑或缺口的深度。这些凹坑会导致玻璃在往后的使用中由于受力开裂。

色散共焦测量技术在晶片的在线质量检查
 半导体工业中的应用需要微米范围内的横向分辨率和亚微米范围内的纵向分辨率。 在进行在线质量检查时，色散共焦测量传感器测量晶片的厚度，在蔽光框生产中确定半导体结构，检查焊接。 此外，色散共焦测量传感器测量透明涂层，确定喷漆厚度以及实时机械和化学蚀刻过程。ERT传感器可以在酸液中以及在**真空环境内进行可靠测量
在硅片生产过程中的质量控制 许多生产工艺中都会用到层厚减薄。比如:在湿法蚀刻过程中，固体的材料通过化学溶液被转化成液体化合物。在检测这些工艺过程中就会用到光学传感器。色散共焦测量传感器也能检查洗涤过程判断异物是否已经从晶圆上移除。

色散共焦测量硅通孔（TSV）
硅通孔主要给硅片提供竖直的金属连接方式。使用这种技术能够把单个芯片通过微小的铜线结构竖直地连接起来。在蚀刻工艺完成后，这些**的地方被称作Bump。在被填充前的TSV结构是长宽比很高的小洞，填充后Bump就会在硅片表面长出。无论是TSV孔深还是Bump高度都能被ERT的色散共焦测量传感器测量。
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