正宗光谱共焦传感器

**高采样频率点传感器


全新技术，区别于传统三角测距法
由东莞蓝海精密提供的ERT光谱共焦测量技术让我们进入纳米级的测量领域
产品的*特性能
1. 产品原理：全新的光谱共焦原理，可测量距离和厚度；
2. 任何材质和表面：包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量；
3. **高精度测量：较小线性度可达0.03μm，分辨率为0.3 nm；
4. 从100μm-42 mm的可选量程；
5. **高采样频率：2K-60KHz，用于生产线，替代人工并提高合格率；
6. 测量范围较广，几乎无死角，解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差等问题，可测倾角87度；
7. 可进行透明工件（LCD、LCM、手机摄像头等）多层厚度的准确测量，较小可测量厚度为400 nm；
8. 可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量，到工业在线检测、自动化控制等。

光谱共焦传感器的应用
MEMS
★ 3D表面形貌
★ 关键尺寸

医疗植入体
★ 3D表面形貌
★ 表面粗糙度
★ 关键尺寸
纳米级的精度测量光谱共焦位移传感器是工业产线测量领域必不可少的选择


产品的*特性能
1. 产品技术原理：一种全新的光谱共焦原理，可测量距离和厚度；
2. 任何材质和表面：包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量；
3. **高精度测量：较小线性度可达0.03μm，较高分辨率为0.3 nm；
4. 从100μm-42 mm的可选量程；
5. **高采样频率：2K-60KHz，用于生产线，替代人工并提高合格率；
6. 测量范围较广，几乎无死角，解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差等问题，较大可测倾角87度；
7. 可进行透明工件（LCD、LCM、手机摄像头等）多层厚度的精确测量，较小可测量厚度为400 nm；
8. 可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量，到工业在线检测、自动化控制等。

器是工业产线测量领域必不可少的选择
光谱共焦传感器可实现纳米级测量技术
纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率，获得更多表面细节
★ 较高1μm横向分辨率，更多采样值带来更精确的分析结果
★ 较高14nm测量头精度，输出可信赖的测量数据

光谱共焦传感器在3D玻璃测量中的应用
预计2020年，3D曲面智能手机将占智能手机市场的80%。随着蓝思、伯恩、星星科技、比亚迪等企业在3D曲面玻璃加工设备及技术的持续投入，为3D玻璃相关设备及材料企带来5到10年的黄金发展期，市场容量达到1000亿元，仅3D曲面关键设备之一暨热弯机的缺口就在10000台左右，市场价值100亿元。那到底3D玻璃的制备工艺如何？
2D和2.5D玻璃防护屏产品的生产方法是将玻璃基板进行切割，通过精雕、光孔、抛光、强化、丝印、镀膜等加工后，制成各种规格型号的产品。3D曲面玻璃的生产流程与2D和2.5D产品基本相同，较大区别在于新增热弯成型设备。光谱共焦测量技术就是保证玻璃加工后的品质。

光谱共焦传感器的应用测量案例
光学镜片
★ 3D表面形貌
★ 粗糙度
★ 表面缺陷与瑕疵
★ 曲率半径

血管支架
★ 3D表面形貌
★ 表面粗糙度
★ 药物涂层厚度

光谱共焦传感器的特点：
高效、稳定测量
★ 点、线、面三种测量模式，应对从简单到复杂的测量任务
★ 2D轮廓测量，包含长宽高、角度和台阶高度等十余项
★ 3D形貌测量，包含体积、表面积、翘曲度和腐蚀分析等
★ 符合国际ISO25178标准的面粗糙度测量分析
ERT光谱共焦传感器可测量玻璃及透明镜片
镜片阵列
★ 3D表面形貌
★ 表面缺陷
★ 曲率半径

曲面玻璃盖板
★ 长宽高
★ R角
★ 2D轮廓
★ 平面度

3D玻璃加工四大难点解决方案
相传在几千年以前，古罗马学者普里尼，在他的毕生巨著《自然史》中，记载了善于航海的腓尼基人**次见到这种美观而又稀奇的东西——玻璃。
随着柔性AMOLED、5G时代的来临，3D曲面造型及玻璃材质将成为手机的标准配置。

3D玻璃热弯工艺起源于韩国，随着以蓝思为代表的玻璃加工企业的迅猛发展，相关工艺得以传承并发扬光大。目前玻璃热弯工艺存在四大难点暨热弯机，研磨及抛光，3D曲面印刷，3D贴合。
1，3D热弯机
3D玻璃热弯成型时将玻璃加热到特定温度软化，采用特定形状的，模具复制得到所需3D形态玻璃的成型工艺。热弯工艺是3D玻璃制程中较核心的工艺之一，也是难点之一。3D玻璃热弯机起源于韩国， 但以环球同创、龙雨、宝瑞达、普天达、联得自动化为代表的国内企业在热弯机的设计及制造方面有着深厚的积淀。ERT光谱共焦测量技术能实现3D玻璃品质管控。

光谱共焦位移传感器原理简介
1. 一束白光穿过小孔S，照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光，每一个波长对应一个固定的距离值。


2. 当对象出现在测量区域的时候，一个特定波长的单色光正好照射在其表面，并且反射进光学系统。


3. 此反射光通过一个小孔S,,（只有**聚焦在被测体表面的光才可以穿过这个小孔），由波长识别系统(光谱仪)识别其波长，从而得到其所代表的精确距离值。


4.由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值.