光谱共焦位移传感器原理简介
1. 一束白光穿过小孔S,照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光,每一个波长对应一个固定的距离值。
2. 当对象出现在测量区域的时候,一个特定波长的单色光正好照射在其表面,并且反射进光学系统。
3. 此反射光通过一个小孔S,,(只有**聚焦在被测体表面的光才可以穿过这个小孔),由波长识别系统(光谱仪)识别其波长,从而得到其所代表的精确距离值。
4.由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值.
光谱共焦传感器可实现纳米级测量技术
纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率,获得更多表面细节
★ 较高1μm横向分辨率,更多采样值带来更精确的分析结果
★ 较高14nm测量头精度,输出可信赖的测量数据
纳米级的精度测量光谱共焦位移传感器是工业产线测量领域必不可少的选择
产品的*特性能
1. 产品技术原理:一种全新的光谱共焦原理,可测量距离和厚度;
2. 任何材质和表面:包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量;
3. **高精度测量:较小线性度可达0.03μm,较高分辨率为0.3 nm;
4. 从100μm-42 mm的可选量程;
5. **高采样频率:2K-60KHz,用于生产线,替代人工并提高合格率;
6. 测量范围较广,几乎无死角,解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差等问题,较大可测倾角87度;
7. 可进行透明工件(LCD、LCM、手机摄像头等)多层厚度的精确测量,较小可测量厚度为400 nm;
8. 可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量,到工业在线检测、自动化控制等。
器是工业产线测量领域必不可少的选择
光谱共焦传感器的应用测量案例
光学镜片
★ 3D表面形貌
★ 粗糙度
★ 表面缺陷与瑕疵
★ 曲率半径
血管支架
★ 3D表面形貌
★ 表面粗糙度
★ 药物涂层厚度
ERT光谱共焦位移传感器操作简单容易维护
★ 仅需三步设置即可一键开始测量,节约时间精力
★ 较高20mm/s扫描速度,数分钟之内即可完成测量
★ 000级大理石隔振设计,隔离1Hz以上环境振动影响,测量数据更精确
★ XY轴提供0.1μm分辨率光栅尺反馈,数据可重复性高
光谱共焦位移传感器的构成
光谱共焦位移传感器配备控制器、光纤和测量头。根据实际测量场景,控制器提供单通道、双通道和四通道选择,测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。通过优化配置控制器和测量头,可为工业应用输出更为经济、性能强大和稳定的测量能力。
光谱共焦位移传感器在锂电池行业中的应用
触点检测
★ 3D表面形貌
★ 缺陷
电子制造
锂电池
正负极片
★ 3D表面形貌
★ 面粗糙度
集电器
★ 3D表面形貌
★ 面粗糙度
隔膜
★ 3D表面形貌
★ 缺陷