国产3D表面轮廓仪

二、 3D光学轮廓仪的产品功能
1) 一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快
速实现批量测量功能。
2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。
3) 测量中提供拼接测量功能。
4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。
应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差**精密加工.光学透镜 精密加工.发动机叶片 精密加工.金字塔型金刚石磁头 标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度 性能特色1、 高精度、高重复性1） 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2） *特的隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，**仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得较高的测量重复性；2、 一体化操作的测量分析软件1） 测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；2） 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；3） 结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；4） 几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；5） 一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；6） 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。3、 精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、 双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统，在无外接气源的条件下也可稳定工作。
精密检测仪器，顾名思义，就是一种用于精密检测的仪器。所谓的精密检测仪器，我们可以从其字面上进行拆分解释，首先是精密，它直接决定了仪器的灵魂，那就是精度，只有有了精准的测量精度，这个仪器才能称之为精密，它才能为现代工业生产所服务；其次就是检测，这定义了仪器的功能，就是检测为主。

在上世纪九十年代，由于现代工业的发展，很多的企业在生产过程中都不能生产出合格的工业产品，这直接导致大部分的企业在发展中利益受到影响，更有甚者因此而直接导致破产。为了挽救大部分的工业企业，更为了社会发展提供合格的工业产品，精密检测仪器作为一个新兴的行业进入中国国内，由于精密检测仪器的行业是应用在工业产品的检测上，所以在国内的工业生产中被广泛地应用，服务于整个行业。工欲善其事，必先利其器。精密检测仪器的创新、制造及应用水平都反映出一个国家的科技和工业实力。然而，中国作为*的精密仪器设备消费市场，却与其中国企业的市场占有率较不相称，大多精密仪器设备都被外国品牌所垄断。守着巨大的市场，却占据劣势地位，成为国产高端精密仪器设备企业发展面临的共同难题。
回顾我国科研技术发展，从载人**、探月工程、**级计算机等工程建设，正在逐渐提升我国的科研威望。而在精密检测仪器领域，我国正积极通过集中力量发展高端制造业，逐渐将进口仪器垄断国内仪器市场的局面打破。目前，我国仪器设备历经长足发展，不论是在价格、质量还是性能上，都已经逐步追赶上国外产品。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司作为国内计量检测仪器领域的中坚力量，自成立以来实现了国产计量检测仪器的多项突破，国内首台全自动指示表检定仪、大规模商用的激光干涉仪等。如今，东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司研发的微纳表面形貌检测仪器-光学3D表面轮廓仪在与进口品牌的同台竞技中完全不落下风，在国内的晶圆厂、3C相关企业（各类蓝宝石光学制品）中深受**。
东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。

光学3D表面轮廓仪采用了高精度扫描模块和*特的内部抗振设计，可实现较高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性，**诠释始终如一的测量品质；直观的操作界面，让您对操作流程一目了然，自动聚焦，助您一键实现测量过程；可视化的工作流程树，一键激活的图库管理功能，所见即所得的同步分析功能，更有一键分析功能，批量测量不用愁。


东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司光学3D表面轮廓仪不仅可用于硅晶片、光学透镜、窗口片、蓝宝石表镜、手机屏等表面粗糙度检测仪，还可对LED衬底、*红外观察窗口、**精密工件、微机电系统等进行**精密检测，在军事和民用领域都有着广泛应用。



东莞市蓝海精密检测设备科技有限公司专注于精密计量仪器和精密检测设备的技术发展，自强不息、知难而上、勇于创新，不断向各种技术壁垒、技术垄断发起挑战，用现代化的技术手段大幅提高测量效率和精度，图中国仪器技术之强大，铸中国产业提升之利器。


产品功能

1) 一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。

2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。

3) 测量中提供拼接测量功能。

4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。

5)
分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

6) 分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能，设置分析模板，结合测量中提供的自动测量和批量测量功能，可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。
固定式三维形貌测量仪
产品介绍
ST150型固定式三维表面形貌测量仪，采用国际良好的光谱共焦技术，可实现对材料表面微米、次微米级粗糙度检测，并且可以进行2D轮廓/3D微观形貌扫描分析，具有测量精度高，速度快，便于携带，重复性好的优点，该仪器可用于测量大尺寸样品，软件功能含括了点测量、线测量、面测量以及编程等强大的功能，可选模块包括2D&3D粗糙度检测与分析、2D轮廓测量与3D形貌分析、平面度检测、共面度检测、平行度检测。
仪器基本信息

功能与特性
测量具有非破坏性，测量速度快，精度高；测量范围广，可测透明、半透明、金属材料、高漫反射、低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)；
尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面，漫反射表面较大可达87度；
不受样品反射率的影响；
不受环境光的影响；
测量简单，样品*特殊处理；