宣城色散共焦传感器

ERT色散共焦传感器之微型测头END技术参数
**小型光谱色散共焦传感器，外观直径为4mm、6mm、8mm
非常适合用于安装空间有限的场合
可用于对小孔内径进行测量
小至6mm的外径，但其可以非常方便地集成于在线设备上
色散共焦传感器的亚微米测量精度
量程与控制器型号有关，表中参数是CCS-PRIMA控制器的标准数值
较小可测半径=光学笔半径+安装距离
色散共焦传感器的表格参数是透明体数据，漫反射工件较好可达到87度。倾斜的工件会减少有效的反射光。以上参数是CCS-PRIMA控制器，在频率设定为100HZ时测得的典型结果。

什么是色散共焦传感器的色散共焦测量技术：

1、伴随着精密制造业的发展，对精密测量技术的要求越来越高。位移测量技术作为几何量精密测量的基础，不仅需要**高测量精度，而且需要对环境和材料的广泛适应性，并且逐步趋于实时、无损检测。与传统接触式测量方法相比，色散共焦传感器具有高速度，高精度，高适应性等明显优势。
2、混色光是由众多不同波长光线组成的，我们称之为光谱。所有不同波长的可见光重叠在一起，形成白光。人类肉眼可见光的波长范围从400nm (蓝光)到700nm (红光)。通过透镜，不同颜色的光不会聚焦到同一个点上。这种现象称为色差透镜错误或者叫色差透镜偏差。
3、自然界的日光属白光一种，白光不是较纯洁的光，而是许多单色光组成的。光在不同介质中传播可能会有角度偏差的现象产生，而实际的白光照射下不同介质将有很多单线光的折射。光学材料（透镜）对于不同单色光的折射率是不同的，也就是折射角度不同波长愈短折射率愈大，波长愈长折射率愈小。
4、光学材料（透镜）对于不同单色光的折射率是不同的，也就是折射角度不同波长愈短折射率愈大，波长愈长折射率愈小，同一薄透镜对不同单色光，每一种单色光都有不同的焦距，按色光的波长由短到长，它们的像点离开透镜由近到远地排列在光轴上。色散共焦传感器不会有色素差。

色散共焦传感器的高效、稳定测量
★ 点、线、面三种测量模式，应对从简单到复杂的测量任务
★ 2D轮廓测量，包含长宽高、角度和台阶高度等十余项
★ 3D形貌测量，包含体积、表面积、翘曲度和腐蚀分析等
★ 符合国际ISO25178标准的面粗糙度测量分析

色散共焦传感器的纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率，获得更多表面细节
★ 较高1μm横向分辨率，更多采样值带来更精确的分析结果
★ 较高14nm测量头精度，输出可信赖的测量数据

色散共焦传感器的主流微观几何测量功能
★ 利用同轴光在表面聚焦，解决透明、反光表面测量难题


色散共焦法测量技术和三角法测量技术的区别是什么？
色散共焦法 是利用波长信息测量距离的。
由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值。 三角测量法 是利用感光元件（CCD/CMOS)上的光点位置变化来测量被测物的距离变化。虽然通过从感光波形计算出峰值或重心等特征量可减小误差，但从原理上，材质不同或对象物倾斜会导致感光波形位置出现偏差或波形混乱，从而产生测量误差。 使用传统三角测量法时，随着高度的不同，测量位置或者光斑大小会发生改变。而色散共焦法的同轴共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲，也可以进行高精度的测量，测量点不会改变。
光谱共焦是同轴测量，通过分离白光光谱在不同距离上的色谱，对应距离变化。激光三角法使用激光光源，垂直照射被测物后发生漫反射，在一个倾斜角度上接收回光，靠计算回光角度，换算成垂直距离。两者各有优缺点，光谱共焦传感器精度高，同轴测量，不受复杂结构遮挡的影响，但价格偏高。三角反射法传感器应用广，接受度高，价格相对便宜。但对测量透明体或反光面，以及被测物表面结构复杂，有遮挡的情况，会有限制。三角法在工业制造中满足不了精密测量的更高要求。

色散共焦传感器原理简介


1.色散共焦传感器内部的一束白光穿过小孔S，照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光，每一个波长对应一个固定的距离值。


2. 当对象出现在测量区域的时候，一个特定波长的单色光正好照射在其表面，并且反射进光学系统。


3. 此反射光通过一个小孔S,,（只有**聚焦在被测体表面的光才可以穿过这个小孔），由波长识别系统(光谱仪)识别其波长，从而得到其所代表的精确距离值。


4.由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值.
这就是色散共焦传感器的测量技术原理。
色散共焦传感器的测量原理：


由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光，每一个波长对应一个到被测物体的距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的光的波长，换算获得距离值。
色散共焦传感器的纳米级测量技术

色散共焦传感器的三维表面形貌测量系统