**光谱共焦传感器品牌

光谱共焦传感器可实现纳米级测量技术
纳米级分辨率与测量精度
★ 17nm垂直分辨率，获得更多表面细节
★ 高1μm横向分辨率，更多采样值带来更的分析结果
★ 高14nm测量头精度，输出可信赖的测量数据

**高采样频率点传感器


   全新技术，区别于传统三角测距法
     由东莞蓝海精密提供的ERT光谱共焦测量技术让我们进入纳米级的测量领域
      产品的特性能
      1. 产品原理：全新的光谱共焦原理，可测量距离和厚度；
2. 任何材质和表面：包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量； 
      3. **高精度测量：小线性度可达0.03μm，分辨率为0.3 nm；
      4. 从100μm-42 mm的可选量程；
      5. **高采样频率：2K-60KHz，用于生产线，替代人工并提高合格率；
 6. 测量范围较广，几乎无死角，解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差等问题，可测倾角87度； 
7. 可进行透明工件（LCD、LCM、手机摄像头等）多层厚度的准确测量，小可测量厚度为400 nm； 
8. 可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量，到工业在线检测、自动化控制等。

光谱共焦位移传感器的构成
光谱共焦位移传感器配备控制器、光纤和测量头。
根据实际测量场景，光谱共焦位移传感器的控制器提供单通道、双通道和四通道选择，测量头也可依据量程和分辨率等要求进行配置。
通过优化配置控制器和测量头，可为工业应用输出更为经济、性能强大和稳定的测量能力。
光谱共焦位移传感器的PRIMA控制器
★ 1/2/4通道选择
★ 测量频率100Hz至2000Hz，10K Hz型号供选择
★ LED光源自动调节
★ 厚度校准技术
★ 数字量和模拟量输出
★ 同步读取外部数字编码器
光谱共焦位移传感器主要应用领域：
粗糙度测量
得益于纳米级精度及**好的角度特性，本同轴共焦位移传感器契合ISO25178，可用于对表面粗糙度进行高精度测量。相对于传统的接触式粗糙度仪，同轴共焦位移计以更高的速度采集粗糙度轮廓，并且对产品表面无任何损伤。
轮廓和3D形貌测量
集成于3D扫描系统上，本同轴共焦位移传感器可以提供针对负载表面形貌的2D和3D测量数据。
透明体厚度测量
创新的同轴共焦原理使本光谱共焦位移传感器可以直接透过透明件工件的前后表面测量厚度，整个过程仅需要使用一个传感器从工件的一个侧面测量。相对于三角反射原理的激光位移传感器，本仪器因采用同轴光，从而可以更有效地测量弧工件的厚度。
液位控制测量
优异的非接触式同轴测量，我们传感器可以检测和测量液体的水平高度
在线检测
高采样频率，小尺寸体积和卡放的数据接口，使本仪器非常容易集成至在线生产和检测设备中，实现线上检测。
震动测量
由于光谱共焦位移传感器采用**高的采样频率和**高精度,同轴传感器可以对震动物件进行测量，光谱共焦位移传感器采用的非接触设计，避免测量过程中对震动物件造成干扰，同时可以对复杂区域进行详细的测量和分析。

光谱共焦位移传感器的混色光是由众多不同波长光线组成的，我们称之为光谱。
所有不同波长的可见光重叠在一起，形成白光。人类肉眼可见光的波长范围从400nm (蓝光)到700nm (红光)。通过透镜，不同颜色的光不会聚焦到同一个点上。这种现象称为色差透镜错误或者叫色差透镜偏差。
众所周知，自然界的日光属白光一种，白光不是纯洁的光，而是许多单色光组成的。光在不同介质中传播可能会有角度偏差的现象产生，而实际的白光照射下不同介质将有很多单线光的折射。光学材料（透镜）对于不同单色光的折射率是不同的，也就是折射角度不同波长愈短折射率愈大，波长愈长折射率愈小（这也是不同望远镜所谓的色差不同的原因），同一薄透镜对不同单色光，每一种单色光都有不同的焦距，按色光的波长由短到长，它们的像点离开透镜由近到远地排列在光轴上（不同的单色光的波长是不同的）这样成像就产生了所谓色差透镜错误。色差透镜错误使成像产生或晕环。在摄影器材中，应通过处理，尽量消减色差透镜错误导致的成像问题。常用的消除方法有双胶合系统与双分离系统。


而光谱共焦位移传感器的测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用透镜，延长不同颜色光的焦点光晕范围，形成放大色差，使其根据不同的被测物体到透镜的距离，会对应一个波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长，就可以得到被测物体到透镜的距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。

为了得到上述的色差，需要在光谱共焦位移传感器的探头内使用若干透镜，用来根据所需量程将光线分解。后使用一个凸透镜，将传感器探头射出的光线聚拢在一条轴线上，形成所谓的焦点轴线。如果不使用凸透镜，传感器探头射出的光将分散开来，测量也就无法进行了。


白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜，返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上，小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱，也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强，在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面，需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅，可以根据反射光的波长，增强或减弱折射率。因此，CCD矩阵上的每一个位置，对应一个测量物体到探头的距离。
光谱共焦位移传感器在整个量程上，共可以得到**过30,000个测量点。这里只计算光线波长，用以产生测量信号。反射光产生的信号波峰振幅并不在信号测量依据之内。也就是说反射光的光强不会影响测量结果。
 
这意味着，无论有多少反射光从被测物体反射回来，测量的距离结果可能是不变的。因为反射光的光强仅仅取决于反射物体的反光程度。因此，采用ERT公司的光谱共焦位移传感器，即使被测物体是强吸光材料，如黑色橡胶；或者是透明材料，如玻璃或者液体，都可以进行正常可靠的测量。
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